全自动COS性能测试机用于COS激光芯片的性能检测工艺，设备采用3工位3通道设计，每个工位配备双积分球检测系统，同时兼容CW模式和QCW模式，可同时测试激光芯片的偏振、功率、波长、Ith、SE、Volt、Iop、Vop、Von、冷波长、热波长、波峰高度、光电转换效率、PBS等参数等参数。

▪ 可以同时容纳32个4寸华夫盒

▪ 检测精度：70nm/pixel

▪ 综合测试效率：12s/片

    ▪ 工艺良率：≥ 99.5%